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  • 动态真空校准装置的设计

    动态真空校准装置由供气系统、抽气系统、校准系统、烘烤系统、测控及分析系统五部分组成。利用快开超高真空插板阀与限流元件组合的方法,在20ms至1s的时间范围内实现标准压力105Pa至100Pa范围的瞬态阶跃变化。采用稀薄流下DSMC法与连续流下Navier-Stokes方程相结合的模型,确定快速膨胀过...

  • 真空计量标准期间核查方法的探讨

    在选择真空计量标准期间核查方法时,如果计量标准的准确度要求较高,宜优先采用传递比较法和多台平均值法;如果计量标准的准确度要求较低,可采用比对法。介绍了静态膨胀法真空标准装置、气体微流量标准装置、真空规比对标准装置的期间核查方法。...

  • 正压漏孔校准装置定容室容积测量方法研究

    提出了一种正压漏可孔校准装置的定容室容积测量方法,通过在定容室上外接一个容器,并在其内部放置一个体积可以精确计量的金属棒,利用两次膨胀,计算出定容室的容积。该方法的优点是,不需要测量外接容器的容积,也不需要对压力测量值进行绝对校准,测量不确定度小,尤其适合小容积的精确测量。采用这种方法对一台恒压式正...

  • 真空比对标准装置性能研究及计量软件设计

    为研究真空比对标准装置的性能,减少真空计量过程的不确定度。通过实验对真空比对标准装置的极限真空度、漏率、动态稳定度和体积膨胀比进行了研究,分析了该装置的不确定度影响因素。针对标准装置仅能手动操作、真空规计量过程复杂、人工数据处理繁琐的情况,基于Labview 8.2开发平台,依据真空比对校准装置的基...

  • 比对法漏率校准装置

    比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。绝对法的校准范围为 10 - 4~ 10 - 9Pa· m3/s;相对合成标淮不确定度为小于 10 %。相对比对法的校准范围为 10 - 6~10 - 1 0 Pa· m3/s,相对合成标准不确定度为小于 2 5 %。...

  • 真空计量标准的研制与应用

    兰州物理研究所研制了一系列真空标准装置,可用于真空规、方向规、分压力质谱计、真空漏孔和正压漏孔的校准。其静态膨胀法真空标准装置、动态流量法真空标准装置及超高/极高真空校准装置是用于真空规校准的三套基础标准,覆盖的校准范围为(10-10~105)Pa;程控式真空规校准装置适用于工业部门,其校准范围为(...

  • 真空计量的需求与发展

    综述了对真空计量的需求与发展,其中包括对全压力、分压力、气体微流量、真空泵抽速、空间真空测量和特殊条件下对真空测量的需求,还包括对真空计量标准和测试设备的需求。...

  • 小型电容薄膜真空规的设计

    商用电容薄膜真空规存在体积大、重量重等问题,无法满足深空探测中真空测量需求,因此设计了一种小型电容薄膜真空规。设计中采用倒T型结构固定极板和防热变形结构,防止测量过程中温度变化导致的规管部件热变形;采用面积相同的双电极结构,消除测量过程中外界杂散电容和温度变化引起的测量信号偏差。小型电容薄膜真空规整...

  • 真空计量的现状及发展趋势

    介绍了真空计量、真空计量标准、真空测量与校准技术、空间真空测量等方面的内 容。基于真空计量的现状,提出了真空计量的发展趋势。...

  • 膨胀法真空系统的建立与不确定度来源分析

    真空计量是真空技术应用和发展的重要手段,真空静态膨胀法是真空计量的基础标准,其一级膨胀法和二级膨胀法为保证真空量值的准确性、统一度提供了技术支持。它是利用波义耳—马略特定律,通过膨胀法或与石英规的直接比对校准法实现计量真空计的目的,其不确定度的分析符合JJF 1050—1996《工作用热传导真空计校...

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